Please use this identifier to cite or link to this item: https://er.knutd.edu.ua/handle/123456789/8877
Title: Химический синтез наноструктурированных систем с хемочувствительными свойствами
Authors: Пянко, А. В.
Жилинский, В. В.
Горох, Г. Г.
Issue Date: 2016
Citation: Пянко А. В. Химический синтез наноструктурированных систем с хемочувствительными свойствами [Текст] / А. В. Пянко, В. В. Жилинский, Г. Г. Горох // Promising materials and processes in technical electrochemistry : monograph / ed.: V. Z. Barsukov, Yu. V. Borysenko, O. I. Buket, V. G. Khomenko. - Kyiv : KNUTD, 2016. - C. 185-188.
Source: Promising materials and processes in technical electrochemistry
Abstract: В настоящей работе исследованы процессы электрохимического и химического наполнения анодно-оксидного алюминия широкозонными металлооксидными полупроводниками SnO2, ZnO для использования в газовой сенсорике. Разработана методика двустадийного анодирования алюминия на кремниевой подложке. Выполнен анализ газового сенсора с помощью тестовой структуры.
This paper deals with the processes of electrochemical and chemical filling of anodic aluminum oxide with wide-zone metal oxide semiconductors (SnO2, ZnO) in terms of their use in gas sensors. The method of two-step anodization of aluminum on a silicon substrate was designed. Analysis of the gas sensor was carried out using a test structure.
URI: https://er.knutd.edu.ua/handle/123456789/8877
Appears in Collections:Наукові публікації (статті)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Promising2016_P185-188.pdf356,65 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.